光へテロダイン方式は、わずかに異なる周波数の信号光と参照光のレーザ光を重ねて、そのビート(うねり)信号を検出することで測定を行ないます。 静止状態(DC)から広帯域(2.3MHz)までの振動測定が可能です。圧電素子、光ディスク、マイクロマシンの微小変位測定に最適です。
■作動距離:50mm、スポット径:70μm
製品資料